二手 KLA / TENCOR Acrotec 6020 #9292406 待售
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KLA/TENCOR Acrotec 6020是一種先進的晶圓測試和計量系統，旨在進行高精度缺陷檢測和評估。利用其自動掃描和成像技術，它提供了現代晶片和基板制造所需的最高分辨率和準確性。其自動晶圓掃描系統精確檢測、表征和記錄晶圓表面從粒度到微粒度的缺陷。利用采用扇形采樣的先進OptiGauge缺陷檢測模式，可以檢測和分析各種類型的保護性塗層，包括抗蝕性塗層和屏障塗層。用戶友好的界面和圖形顯示，加上自動統計和統計分析，為統計控制的測量和評估創造了一個易於使用的環境。KLA Acrotec 6020具有高精度晶圓定位；快速響應晶片邊緣檢測傳感；全場掃描能力；先進的圖像插值能力，優化圖像質量；以及用於高精度缺陷檢測和分析的先進成像算法。其晶片對準和修剪功能旨在滿足業界最高分辨率的要求,確保晶片的最佳定位和精確對準,以實現均勻的測量。TENCOR 6020采用最新的晶圓計量和檢驗技術。它配備了幾種自動成像模式，包括晶片3D成像的聚焦掃描模式、缺陷掃描模式和監視器掃描模式。焦點監視器掃描以螺旋方向拍攝圖像,提供360度曲面視圖。Acrotec 6020的圖像分析模塊包括多種測量、分類和分析功能，允許用戶輕松查找和評估缺陷中心。TENCOR Acrotec 6020得到了包括OASIS、PATRIOT和CORAIS在內的一整套晶圓測試和計量軟件的支持。OASIS軟件支持精確的粘附、應力和汙染測試結果,而PATRIOT應用程序提供統計過程控制,用於高精度晶圓測量。CORAIS模塊支持多層成像和應力映射,提供可靠的缺陷識別和報告。KLA 6020晶片測試和計量系統提供了最高水平的晶片缺陷檢測和評估效率和準確性。利用其自動掃描和成像技術，它提供了市場上最徹底、最精確的晶圓檢測和分析。
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