二手 KLA / TENCOR / ADE 7600 Surfscan #9410326 待售
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KLA/TENCOR/ADE 7600 Surfscan是一種先進的自動化晶圓測試和計量設備,可提供通用和先進的半導體測量、檢驗和屈服增強應用。該系統利用高級晶圓檢測、計量、電氣測試、OBIRCH、高級缺陷分類和自動缺陷審查功能,實現最高級別的缺陷檢測和分類。該設備采用最先進的算法,以500倍以前系統的吞吐量提供最大的產量和生產率。KLA 7600 Surfscan利用了獨特的三維光學采集技術，該技術針對透晶片光力學進行了優化。它提供了無與倫比的計量分辨率,使高級計量和深度分析能夠提供實時的交叉晶圓可比性。這也可以有效地比較蝕刻過程以進行過程控制和故障排除。該機先進的缺陷分類引擎融合了缺陷簽名和特性的綜合庫，提供了自動缺陷分型、準確的假陽性檢測以及變異的表征。此外,它還能夠對關鍵尺寸（CD）進行分類,例如via、contact、line-width和depth。ADE 7600 Surfscan還包括功能強大的自動缺陷審查（ADR）解決方案,可實現高級缺陷審查操作,包括缺陷聚類和屈服性能分析,以及集成的分類引擎和OBIRCH。這為各種應用程序提供了最高水平的生產效率和質量控制。該工具全面的硬件和軟件包包括一個全面的硬件庫和高級應用程序平臺,其靈活性足以滿足客戶的所有需求。此外,它還具有自動化的遠程操作、可聯網的數據庫以及與各種CAD系統的兼容性。該資產支持200 mm和300 mm晶圓尺寸,其緊湊的設計使用的空間最小,因此部署成本效益很高。總之，7600 Surfscan是最先進的晶圓測試和計量解決方案之一。其先進的計量和缺陷檢測功能,加上廣泛的硬件和軟件選項,提供了最高的吞吐量和準確度水平,以實現最大的產量和生產率。
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