二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #293662989 待售

KLA / TENCOR ADE 9500
ID: 293662989
Ultra gauge multi-measurement system.
KLA/TENCOR ADE 9500是一種晶圓測試和計量設備,設計用於晶圓過程分析中的精確測量。它是監測和控制關鍵流程參數的一個創新的、成本效益高的解決方案。KLA ADE 9500作為基於掃描電子顯微鏡的計量系統運行,使用反向散射電子圖像來測量基板、圖樣材料和介電層的特性和輪廓。它利用3 D成像的優勢,提供增強的表面地形分析和精確的計量,以持續監測晶圓處理。TENCOR ADE 9500具有自動化的多光束柱,能夠精確測量高速跨大型晶片的多個位置。該單元配備了最新的掃描電子顯微鏡技術,如低真空成像(LVI)和亞微米分辨率。這項技術有助於生成高分辨率二次電子圖像,從而便於對晶片進行詳細分析。該機還融合了先進的算法和光學,使其能夠準確檢測缺陷,如沈積、蝕刻和沈積系統中的空隙、劃痕和劃痕。自動測量可提供快速可靠的晶圓測試和計量數據,幫助生產線工程師和工藝工程師優化生產過程。該工具使用直觀的用戶界面和易於跟蹤的圖形顯示進行操作。ADE 9500旨在提供可靠且可重復的測量、快速的吞吐量和自動尺寸調整。由於該資產支持範圍廣泛的樣品類型,如半導體晶片、玻璃晶片、非正方形晶片和電路板基板,因此可以用於多種應用,無論是在研究中還是在工業環境中。KLA/TENCOR ADE 9500是晶圓工藝分析的一個非常通用、高效的模型,為晶圓的高效檢測和分析提供了必要的靈活性和準確性。它是晶圓產量優化和成本降低的有力工具。
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