二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9169420 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是一種晶圓測試和計量設備，能夠進行先進的缺陷檢測和分析。該系統采用多種技術來檢查和表征各種基板上的缺陷,包括光掩模、晶片和平板顯示器。KLA ADE 9500單元利用高級光學、硬件和軟件的組合,可以精確測量特征大小、線寬以及缺陷大小和位置。它由KLATrimax TM Imaging Machine提供動力,能夠提供高達10納米的高分辨率特征圖像。此外，還使用光學反射計精確測量各種材料的反射率。定制的模式識別工具在檢查過程的各個階段提供缺陷類型和信號的自動識別。TENCOR ADE 9500資產旨在識別和分析即使是最具挑戰性和要求最高的集成電路設計中的缺陷。它能夠檢測和測量表面地形高度在10到4,000埃之間的缺陷。由於這些信號與工藝產量密切相關，ADE 9500模型實現了改進的工藝控制和產量優化。KLA/TENCOR ADE 9500設備使用方便，可以針對特定應用快速設置。它還提供各種自動化級別，從配備手動基板裝載和卸載的半自動化到全自動原位系統。該系統還集成了Metrology Manager軟件包，使工程師能夠通過實時SPC軟件查看晶圓表面並分析缺陷數據。此功能允許工程師快速評估各種缺陷信號,提供可操作的信息以幫助優化制造過程並提高產量。KLA ADE 9500單元是一個全面、高性能、用戶友好的工具，提供精確的缺陷檢測、分析和過程控制。它非常適合半導體IC和平板顯示器,並為工程師提供識別工藝問題、減少檢查時間和提高總體產量所需的信息。