二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9170555 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是半導體工業中使用的晶圓測試和計量設備。它是在整個晶圓制造過程中快速測量工藝參數的有力工具。它可以測量層和層的厚度、特征的深度、特征的寬度以及多個電子束參數。它還包括一個內置的測試庫和針對特定過程量身定制的計量配方。KLA ADE 9500具有高運動範圍、精確的計量精度和快速的系統響應時間,可提供靈活、快速、可靠的測試和計量。它是由掃描電子顯微鏡（SEM）、電動級和定位單元緊密集成而成。該站由機動化臺階和定位機組成，是測試和測量樣品的關鍵部件。SEM從多個不同角度查看樣品的表面,而電動級允許進行高級測量所需的極其精確的運動。TENCOR ADE 9500還包括多項高級功能,如AutoFocus,一種用於測量設備平整度和粗糙度以及層厚度和粗糙度的自動方法。測量控制套件允許通過用戶友好的圖形界面自定義所有測試和測量。此外,還提供了層映射功能,以正確測量高精度層的厚度。ADE 9500具有開放的體系結構,能夠與其他儀器和控制系統集成,如掃描探針顯微鏡（SM）、舞臺自動化系統和各種計算機。此外,它與多用戶系統高度兼容,以實現靈活、快速和可靠的測試。綜上所述,KLA/TENCOR ADE 9500是一種晶圓測試和計量工具,具有一整套用於精確測量各種工藝參數的功能。它具有高精度和高速度,能夠在快速響應的情況下進行復雜的測量。它與其他系統高度兼容，為整合多種儀器提供了開放的架構。