二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389842 待售

KLA/TENCOR ADE 9500晶圓測試計量設備是一種前沿工藝控制解決方案，旨在為半導體晶圓生產提供精確、可靠、準確的測量。該系統提供自動化軟件、硬件和測量功能的組合,幫助制造商通過實時流程優化提高產量。KLA ADE 9500單元由幾個組件組成，包括自動測量站（AMS）、掃描電子顯微鏡（SEM）、模式識別機（PRS）、自動缺陷分析（ADA）、缺陷審查工具（DRS）、質量數據控制器（MDC）。AMS是一個自動化的實時測試和計量站，它以高精度測量晶片的電氣和物理特性。SEM是一種高分辨率成像資產，可以檢測、表征和識別晶圓表面的缺陷。PRS用於檢測晶圓中缺陷的模式並對其進行表征。這使得制造商可以優化工藝配方以減少排便。ADA允許快速識別難以通過SEM檢測到的孤立缺陷。DRS是一個軟件工具,它提供了一個用戶友好的界面,用於查看來自多個來源的圖像和數據。質量數據控制器（MDC）是一個功能豐富的軟件應用程序,它集成了所有模型組件以進行有效的數據收集。MDC允許對整個生產線中的產品和其他數據進行門控、測量和缺陷審查。MDC存儲和處理數據,與現有技術充分合作以創建端到端流程解決方案。借助TENCOR ADE 9500設備，運營商可以在整個生產周期內快速實時解決缺陷，帶動工藝效率和提高產量。ADE 9500還包含可追蹤性和安全的數據存檔功能,確保嚴格遵守行業標準。因此,用戶受益於提高的流程可靠性和改進的晶圓廠吞吐量。