二手 KLA / TENCOR ADE 9500 #9389853 待售

KLA/TENCOR ADE 9500是一種最先進的晶圓測試和計量設備,幾乎適用於與半導體器件晶圓和子裝配測試有關的所有應用。該系統為晶圓探測和晶圓映射提供了廣泛的功能，利用車載計量設備，如光學顯微鏡和幹涉儀，快速測量和評估特征大小、形狀和均勻性。KLA ADE 9500配備了高精度運動單元，既提供X-Y，也提供theta旋轉，允許在廣泛的晶圓類型上精確映射特征。該機包括一個高分辨率的分配控制器，提供晶圓運動工具的控制，以及一個多通道可交換硬件平臺，提供各種晶圓特性的板載同步測量能力。TENCOR ADE 9500的Expert Asset Automation軟件套件允許預先編程的晶圓探測序列和過程，以及全自動測試過程。對於完整的自動化模型,ADE 9500具有機器人晶片加載/卸載功能,允許進行大容量晶片測試,以及集成的數據管理系統來記錄、存儲和分析測試數據。KLA/TENCOR ADE 9500的其他特性包括具有自動環境控制和監控功能的溫度和主動濕度控制、用於精確缺陷分析的多傳感器分析模塊,以及晶圓和組件應力分析,提供靜態和動態應力分析功能。KLA ADE 9500還可以提供先進的3D顯微鏡功能,以便對各種特征進行快速、精確的3D成像和分析。TENCOR ADE 9500強大的功能集使其成為許多半導體應用的理想解決方案。ADE 9500從快速、精確的成像、傳感和數據收集功能,到精確的計量活動,可在各種晶圓上提供可靠的結果,並提供滿足現代半導體開發需求的能力和靈活性。