二手 KLA / TENCOR / ADE Ultrascan 9600FA #9181889 待售

KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA是一種集成晶圓測試和計量設備，有助於提高半導體的質量。該系統具有先進的光學計量平臺,可對晶圓、模具和薄膜的地形和表面進行精確的非接觸式測量。KLA Ultrascan 9600FA提供快速、準確的測量和高吞吐量,使用戶能夠快速、準確地評估晶圓特性。ADE Ultrascan 9600FA將高度自動化的晶圓探測和精確的非接觸式光學計量結合在單個集成平臺中。這一單元配備了6148個可以精確定位在晶片表面上方測量模具參數的光學探測器，以及能夠實現納米級分辨率的光學計量。TENCOR Ultrascan 9600FA除了具有探測和光學功能外,還具有晶圓處理子系統,能夠在機器的XY級快速、穩健地移動晶圓,從而實現高效的樣品處理。Ultrascan 9600FA由KLA ImageMap技術提供動力，它可以提高測量表面地形的精度。此工具的高分辨率能夠捕獲極其精細的細節和高強度特征,使其成為檢查模具級特征的理想選擇。該資產具有自動化的3D成像功能,可輕松捕獲來自各種基材的地形數據。KLA/TENCOR/ADE Ultrascan 9600FA的分析能力包括快速傅立葉變換（FFT）以及特征形狀和形狀測量的專利技術。FFT分析晶片表面上特征的頻率和強度並允許識別特征,而特征形狀和形狀測量則允許更精確地測量小特征和過程。除了強大的光學和計量能力外，KLA Ultrascan 9600FA還配備了內置控制器GPI/O，以及用戶友好的軟件包，允許用戶定制測量和分析。該模型能夠測量各種參數，如步高、WAT粗糙度和線展函數。ADE Ultrascan 9600FA是確保半導體行業質量的重要工具,為客戶提供了巨大的價值。