二手 KLA / TENCOR AIT 1 #293751594 待售

KLA/TENCOR AIT 1 SURFSCAN是一個全自動的計量解決方案平臺，設計用於半導體行業的測試和計量應用。該設備提供精確、可重復的晶圓特性測量,如圖樣、叠加和線寬。該系統使用先進的傳感器和多重相互註冊技術，從一系列基板上捕捉精確的測量和數據點。Surfscan AIT 1提供高分辨率、重復性和準確性的基板精確非接觸式掃描。該單元支持測量包括矽片、平板、液晶、有機和有機-無機混合基板在內的各種基板。該平臺采用模塊化設計,並針對快速吞吐量和較低的每測量成本進行了優化。這臺機器能夠處理各種尺寸的晶圓，並通過一個集成的亞成像板審查站提供終極保護。自動化過程允許使用廣域光學成像工具、Overlay Diagnostic資產和其他根據應用程序而定的測量技術進行精確、可重復的數據收集。其集成的形狀識別和分類功能可實現精確、可重復的曲線測量以及輪廓測量、自上而下的表面圖像,以及對字形、缺陷和其他類型特征的反射檢查。要一次處理多個數據集,AIT 1模型具有一個自動配置文件提取模塊,可以提取諸如進程窗口、寬度和線寬等特征。通過集成此設備,操作員能夠快速高效地準確確定設備或結構的關鍵特性。例如，高速Overlay註冊系統能夠每小時處理多達200個晶圓。這對於需要快速、頻繁地測量數據的最終用戶是有益的。它與KLA AIT1 SURFSCAN單元一樣強大和強大,還具有很大的靈活性。光學可以很容易的為各種任務而改變和機器配備了多種配置能力的過程窗口，閾值，測量，可重復性，和其他重要參數。所有這些功能,加上其高質量的自動化計量,使Surfscan AIT 1成為半導體制造商的一個有吸引力的選擇。