二手 KLA / TENCOR AIT 1 #293824441 待售
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KLA/TENCOR AIT （Automatic Inline Test）是一種晶圓測試和計量設備,具有一套專有技術,包括同時測量和測試多個晶圓特性的機制。該系統包括一個將計算機視覺、電氣和在線測試與計量能力相結合的平臺，從而實現高通量的質量控制。KLA AIT單元提供了一套自動測試分析硬件和軟件解決方案，旨在分析各種各樣的半導體晶圓。該機能夠測量各種參數，包括晶片取向、層高和厚度、蝕刻深度、晶體取向、晶粒尺寸、電流和電壓、薄片電阻、便攜性等。TENCOR AIT還提供專門為晶圓測試設計的高級精度測量解決方案。這包括先進的插值掃描鏡頭、能夠以高精度和高分辨率獲取圖像數據的多點光頭以及可測量1微米寬參數的不透明度相機。此外,該工具還包括高分辨率散射測量、齒輪測量和傾斜映射解決方案。該資產還能夠依靠機器學習算法和專有的在線測量數據的組合，自動檢測缺陷並進行分類。此功能能夠精確、一致地全面了解樣品表面,從而進一步管理缺陷。AIT模型的另一個關鍵特征是自動測試。通過這一特點，設備在新晶片仍在生產線上時進行了幾次測試。這反過來又有助於檢測早期產品故障並避免下遊故障,從而提高產品產量和總體成本節約。最後,KLA/TENCOR AIT系統提供了一種先進的軟件體系結構,可實現快速高效的數據完整性和分析。核心數據庫是存儲完整測試數據和分析結果的存儲庫,而測試腳本可以通過易於使用、直觀的GUI輕松設計、修改和部署。此外,軟件套件還提供了一組業務智能和報告功能,包括數據分析和可視化功能。總體而言,KLA AIT是一個功能強大的晶圓測試和計量單元,可以提高產量、降低成本並延長產品生命周期。它擁有一套先進的產品和技術,如多點光頭、散射測量和傾斜映射解決方案,以及自動缺陷檢測,可實現高精度、高分辨率的數據收集和分析,從而更好地控制產品質量。
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