二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9022108 待售

KLA/TENCOR AIT 1是為半導體工業設計的領先晶圓測試和計量設備。它為矽晶片提供了廣泛的光學檢測和計量解決方案，包括先進的缺陷檢測、地形測量、晶片級材料表征和表面計量應用。該系統擁有大量自動化功能,能夠比以往任何時候都更快、更準確地執行精確測量,從而提高用戶的生產效率,最大限度地提高半導體制造過程的盈利能力。KLA AIT 1配備了多種光學元件進行一系列光學測試，包括掃描電子顯微鏡（SEM）、光學亮場成像（OBFI）、光譜成像（SI）和光學3D計量（3DM）。其制圖算法的高清晰度允許檢測晶圓表面極小微妙的特征，使得缺陷檢測極為精確準確。它還提供了在晶圓上定義的矩形或圓形區域中對地形和/或材料進行測量的能力。此外,該設備的軟件還具有功率譜密度（PSD）分析能力,能夠快速準確地分析大面積數據,提高光學測量校準精度,改進缺陷檢測。TENCOR AIT 1先進的檢測計量能力套件，使其成為半導體行業強大可靠的機器。它能夠進行廣泛的測試，包括：3 D表面地形表征、晶片級改變測試、模模和層對層界面缺陷測量、無損測試、薄膜計量和3 D表面輪廓測量。此外，它有能力查明和描述各種類型的模式和缺陷，包括顆粒汙染和電化學遷移，以及準確地探測和重建表面材料。AIT 1還為用戶提供了適應其特定需求和應用的靈活性,因為它可以輕松地與外部系統和外圍設備集成,從而進一步提高其功能。還提供了幾個對齊包,使工具能夠在多個晶圓上精確對齊生產批次並達到納米精度。此外,該資產還為高可靠性半導體制造應用程序的高通量全天候運行提供了可靠的性能和收益,並配備了一個全面的服務平臺,可確保用戶快速響應和輕松維護。綜上所述，KLA/TENCOR AIT1是為半導體行業設計的強大可靠的模型，提供先進的缺陷檢測、地形測量和晶圓級材料表征。該設備擁有豐富的功能和自動化功能,能夠為半導體制造過程提供最大的生產效率和盈利能力。