二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9086398 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一種晶圓測試和計量設備，設計用於檢測半導體晶圓上的缺陷。該系統在前端制造過程中運行,為工程師提供快速、準確和可靠的缺陷檢測。該單元由集成測量單元（IMU）、掃描晶片級、數字光路和缺陷檢測工具四個部分組成。IMU由三軸電機控制機組成，可以精確定位晶片級進行掃描。這樣就可以精確測量缺陷大小,只需在毫米範圍內。掃描晶片級是晶片放置在要掃描的平臺。它由一個機器人控制的兩軸平移級組成，能夠在大面積上快速移動。掃描級有兩個高精度的線性換能器跟蹤晶圓級，產生晶圓表面的地圖。數字光路，或稱光頭，然後用來收集舞臺產生的光，分析計算每一個缺陷的位置和大小。然後使用此數據檢測缺陷。最後，缺陷檢測工具是一種基於算法的工具，用於分析收集到的數據，識別和分類缺陷，以便進一步檢查。KLA AIT 1工具設計用於一次分析整個晶片表面，並對發現的每個缺陷提供詳細的檢查信息。由於資產是自動化的,因此可用於手動和自動檢查。自動檢查對於一致的結果極為有用,因為它們不容易出現人為錯誤。該模型還能夠與其他系統（如模擬、過程控制或光刻等）連接,以提供有關缺陷大小、形狀和位置的準確信息。總體而言，TENCOR AIT 1晶片測試和計量設備是一種可靠且用戶友好的半導體缺陷檢測解決方案。該系統提供準確、精確和全面的結果，可用於改進制造工藝和提高產量。