二手 KLA / TENCOR AIT 1 #9214537 待售

KLA/TENCOR AIT 1是一種晶圓測試和計量設備，旨在提高半導體芯片的質量和產量。該系統由晶圓檢驗和計量產品的領先供應商KLA開發。KLA AIT 1單元是一種自動化的非接觸式機器，旨在測量整個晶圓表面的物理和電氣參數。該工具在一個平臺中結合了三種計量技術：寬帶反射計（BBR）、3D表面地形（3DST）和電子束感應電流（EBIC）。BBR用於測量整個晶圓表面上的層厚度、界面寬度和深度。這使制造商能夠控制介電間隙厚度和均勻性，以及光刻膠層輪廓的表征。3DST利用激光測量整個晶片的高度輪廓，使制造商能夠識別晶片表面的不規則性。EBIC使用電子檢測任何短路或穿過晶圓打開。這有助於檢測任何工藝缺陷，如門氧化物短褲或加工變化。資產還包括用於分析收集的數據的軟件包。它包括一套用於測量整個晶圓表面各種參數的工具。軟件允許用戶設置閾值和其他選項,以便將模型自定義到其特定應用程序。它還提供報告功能以快速查看結果。此外,設備的用戶界面直觀、用戶友好,便於設置、調整和監控系統。TENCOR AIT 1單元是半導體行業廣泛應用的理想選擇，如集成電路質量控制、工藝表征、產量改進、工藝開發等。其非接觸式測量技術和先進的軟件包使制造商能夠提高準確性和降低成本。