二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #293778201 待售

KLA/TENCOR AIT 8010是為大體積半導體制造而設計的晶圓測試和計量設備。它提供了廣泛的功能,並為需要薄膜、氧化、蝕刻、沈積和其他關鍵應用的精確數據的生產線提供了全面的計量解決方案。該系統專為200 mm和300 mm晶圓上的計量應用而設計,可用於200 mm、300 mm和400 mm晶圓。它有一個自動晶片處理單元，它允許快速和精確的加載和卸載晶片。該機器還包括一個高分辨率的3-D成像工具，能夠捕捉精確的超高分辨率圖像。KLA AIT 8010提供了一系列測量功能。它包括一個板載光學顯微鏡，能夠使測量到0.1nm分辨率。它還具有集成的參數化和多參數化功能，如薄片電阻率和摻雜密度測試。此外,該資產還支持NV中心測試和互連測試。TENCOR AIT 8010包含一個高度復雜的軟件包,其中包含用於分析、控制和數據管理的工具。此軟件使用戶能夠輕松配置和控制測量參數,並及時獲得結果。該模型還提供了一整套報告選項,能夠生成各種格式的報告,包括PDF和HTML。除了測量能力外，該設備還提供了一系列的樣品制備選項。這包括精密清潔、切割和處理晶片的能力。該系統還為高級安全和可靠性而設計，具有直觀的用戶界面和全面的安全功能。AIT 8010為薄膜、氧化、蝕刻、沈積等關鍵應用提供了全面可靠的解決方案。其精密的光學、自動化的測量系統和直觀的軟件包使其成為大容量半導體制造的絕佳選擇。