二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #293824573 待售
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KLA/TENCOR AIT 8010是一種先進的晶圓測試和計量設備,旨在提高工藝產量並確保更高質量的設備。它旨在取代傳統的基準計量系統，成為一個更有效和可靠的解決方案。該系統配備了功能強大的多區域3 D映射子系統，允許快速分析多個晶圓測試指標。它能夠一次最多8個圖樣化的晶圓度量，數據采集可以在模具級別進行。由於設備的動態光源，這些圖樣被快速地以大小和方向獨立的格式繪制。KLA AIT 8010還采用先進的掃描電子顯微鏡（SEM）進行快速可靠的結構缺陷分析。這樣就可以自動對小缺陷及其位置進行高分辨率分析。它還可以在單個掃描中檢測單個晶片上的多個缺陷，從而導致更快的分析和更少的浪費。由於其掃描顯微鏡技術，機器還可以進行晶片級缺陷審查，識別和分類晶片上存在的任何異常，而無需任何體力勞動。此外，該工具能夠快速分析細小的光刻缺陷和較小的巖心位移等細粒度指標。TENCOR AIT 8010還具有提高吞吐量的功能。聚焦離子束（FIB）技術允許對缺陷進行快速修剪以進行更高效的分析，而低功率電子顯微鏡則可以同時對多個芯片進行實時分析。該資產還配備了自動化的樣品加載機器人，減少了設置時間，並最大限度地減少了樣品加載和卸載中的人為錯誤。總而言之，AIT 8010是一種功能強大、可靠的晶片測試和計量模型，旨在準確、快速地檢測和分析晶片上的缺陷。該設備應用範圍廣泛，從半導體到MEMS和芯片。憑借先進的FIB和SEM技術,KLA/TENCOR AIT 8010有望提供快速一致的結果,幫助提高工藝產量和質量。
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