二手 KLA / TENCOR AIT 8010 #9278596 待售

KLA/TENCOR AIT 8010是一種先進的晶圓測試和計量機器，能夠檢測和測量半導體工業中晶圓基板的缺陷。這套先進的系統將高速成像與集成模式識別算法相結合，以檢查大量晶圓並識別過程相關缺陷，如空隙、晶界、劃痕和非均勻半導體層。KLA AIT 8010利用多種成像系統對大面積晶片進行全面分析。它具有兩個高速CMOS線掃描相機和一個雙場掃描電子顯微鏡（DF-SEM）。DF-SEM是系統的一個關鍵組成部分，具有廣闊的視野，能夠檢測到小到10納米大小的微小缺陷。這臺機器是由一個直觀的用戶界面驅動開發的，以簡化晶圓檢查過程，使其簡單和高效。它包括板載缺陷分析軟件,可自動處理來自高速CMOS攝像機和DF-SEM的圖像。然後,軟件將晶片劃分為不同的目標區域,並將圖像與一組預先定義的要求進行比較,從而能夠快速檢測任何異常特征。為了質量控制，TENCOR AIT 8010還包括用於測量光學、電氣和組合物特性的專用傳感器。這些傳感器提供有關晶片厚度、晶粒尺寸和電氣特性的詳細信息。還可以使用激光幹涉儀完成超蝕刻深度的亞微米範圍測量。AIT 8010旨在滿足各種需求,可以通過多種方式進行配置。它能夠處理直徑不超過200 mm、厚度不超過500 mm的晶片,其自動化的舞臺移動和自動聚焦功能可確保在各種樣品位置和尺寸上進行高分辨率測量。總體而言，KLA/TENCOR AIT 8010是一種可靠、堅固的機器，為半導體工業中使用的晶片提供準確的測試和計量。其先進的成像系統、集成的模式識別算法和專業傳感器使其成為復雜晶圓元件質量控制的寶貴工具。