二手 KLA / TENCOR AIT Fusion XUV #9250962 待售
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已售出
ID: 9250962
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Darkfield wafer inspection system, 12"
Handler:
(2) Load ports: ASYST Isoport with FOUP
BROOKS Robot and controller
Main body:
Light source: 90mW UV Laser
Function: DBS, SE
Component: Pillar and blower
2004 vintage.
KLA/TENCOR AIT Fusion XUV是一種先進的晶圓測試和計量系統,旨在以最高的效率提供精確的結果。該系統結合了兩個必要的儀器-一個計量SEM(掃描電子顯微鏡)和一個晶圓檢查工具。Metrology SEM提供超高分辨率成像和無損表面下測試功能。這使用戶能夠對晶圓表面進行詳細的微觀分析和計量測量。晶圓檢測工具采用X射線散射技術,對半導體晶圓表面進行快速靈敏的測量。此外,Fusion XUV還可以配備各種定制夾具和舞臺動作。Fusion XUV具有許多功能,使其成為理想的晶圓測試解決方案。它提供了有助於精確測量和分析的高級算法,以及提供快速可靠結果的高分辨率成像。此外,即使在測試各種晶圓類型時,其可靠的校準也能提供準確的結果。總體而言,KLA AIT Fusion XUV為晶圓測試和計量提供了一個強大而可靠的解決方案。它結合了先進的成像和計量工具,為它提供了詳細分析和精確測量的特殊能力。此外,即使在處理高度復雜的晶圓曲面時,它也很方便用戶,並提供可靠的結果。Fusion XUV與其他測試解決方案相比也有優越的周轉時間,使其成為快節奏行業和研究實驗室的絕佳選擇。
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