二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9211135 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一種用於半導體晶圓制造的晶圓測試和計量設備。它通過結合KLA和TENCOR兩大公司的兩個組件來創建一個全面的解決方案,滿足了「一刀切」的需求。KLA AIT Fusion結合了來自KLA/TENCOR的功能豐富的自動化光學檢測平臺和來自KLA的晶圓級計量系統。在這些組件協同工作的情況下,創建了一個全面的監測和數據分析單元,以便能夠以微米精度對設備進行高分辨率、無缺陷的測量。機器的核心是一種基於照相機的成像工具，可以檢測到微裂紋、空隙等廣泛的晶圓缺陷。該資產與來自TENCOR的晶圓級計量模型相結合，可以精確測量模具級電氣參數。這兩個組件的集成允許同時測量和審查單個晶片上的設備特性和缺陷。TENCOR AIT Fusion提供高級的過程後分析功能來處理來自這兩個組件的數據。此分析允許評估各種參數,如缺陷類型、設備產量和工藝參數。此外,它還提供了一套工具來促進統計過程控制（SPC）和報告生成。AIT Fusion非常適合晶圓制造的開發和生產階段。它提供了一種準確、全面和高效的方法來測量和鑒定設備,同時支持晶圓檢查的審查過程。這種組件和功能的組合使得KLA/TENCOR AIT Fusion成為半導體器件制造中有吸引力的選擇。