二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9240636 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一種晶圓測試和計量設備,它使工程師能夠快速、準確和可靠地評估制造工藝以及該工藝生產的晶圓的完整性。它提供了測試、計量和分析工具的組合,以幫助快速、徹底地評估晶圓質量。KLA AIT Fusion系統由幾個組件組成,旨在協同工作以提供最佳結果。單元分析模塊提供了全面的分析,使工程師能夠識別晶圓缺陷或趨勢,並確定其對總體產品質量的影響。TENCOR AIT Fusion Detector Module是一種晶圓檢測組件，有助於識別晶圓中的小缺陷和異常。視覺檢查模塊提供對所有晶片的全面目視檢查，精度和分辨率都很高。AIT聚變測試模塊利用790nm激光技術進行電晶片測試。本模塊提供快速可靠的參考和參數化測試,使工程師能夠放心地做出重要決策。成像模塊提供高對比度成像功能,使工程師能夠看到最小的缺陷。KLA/TENCOR AIT融合計量模塊是機器的核心部件。它允許工程師使用散射法、光譜法和高級表面分析來測量小至7 um的晶片的臨界尺寸。本模塊還提供了對表面粗糙度的自動評估,包括對表面粗糙度和異常的測量。KLA AIT融合報告模塊提供直觀的數據報告和可視化,使復雜的數據易於理解和使用。所有測試結果都會自動編譯，並以單一報告的形式呈現，提供晶圓質量和完整性的詳細記錄。簡而言之，TENCOR AIT Fusion是一種綜合晶圓測試和計量工具，結合測試、計量和分析工具，提供準確可靠的結果。通過利用先進的激光技術,該資產能夠提供有關小規模缺陷和異常的詳細數據,使工程師能夠根據可靠和全面的分析做出明智的決策。