二手 KLA / TENCOR AIT Fusion #9273897 待售

KLA/TENCOR AIT Fusion是一種先進的晶圓測試和計量設備，提供完整的晶圓檢測解決方案。該系統旨在評估各種晶圓級參數，包括地形、電氣和結構特性。它結合了多種精確的光學計量技術和先進的軟件，提供高度可靠和準確的測量水平。KLA AIT Fusion單元由晶圓平臺、成像機和測量元件組成。這使得它可以同時測量直徑達200毫米的晶片的地形和物理特性。這些測量可用於檢測表面和內部缺陷並評估產量、工藝均勻性和晶圓幾何形狀。該工具利用先進的光學資產來捕捉不同放大倍數下晶片不同表面的圖像。通過結合高分辨率成像和精密算法，該模型的成像設備能夠檢測和分析傳統自動檢測方法無法檢測到的晶片表面和地下缺陷等缺陷。該系統還可用於以無接觸、無侵入的方式，用晶片探針測量晶片的電性能。晶片探針是專門為晶片級特征的自動檢測和表征而設計的。晶圓探頭允許用戶在不同的上下文中測量晶圓的阻抗、電容、電阻、泄漏電流、功耗和其他電氣參數。該股還提供了一套用於數據分析和處理的軟件工具。其中包括分析功能,例如配置文件數據的自動處理、解釋、自定義報告生成和數據挖掘。該軟件還可用於獲取第二趨勢分析和生成優化數據。TENCOR AIT Fusion機器在半導體工業中被廣泛用於研究和生產。它為用戶提供了一個功能強大、用途廣泛的晶片測試和計量工具，使他們能夠以無與倫比的精度和可靠性快速準確地分析現代晶片的表面和電氣特性。