二手 KLA / TENCOR AIT I #9173474 待售

KLA/TENCOR AIT I是一種晶圓測試和計量設備，旨在為復雜的半導體器件提供準確的結果。它使用高級軟件算法、測試模式庫和集成測試平臺來自動化和優化測試過程。該系統有助於晶片和基材的研制，並符合穩定和動態測試流程的要求。KLA AIT I結合了先進的成像和反射率測量技術,以檢測設備制造過程中或之後的小缺陷或制造錯誤。它還具有光學顯微鏡、表面電荷分析儀和HDTV/SEM顯微鏡來表征新材料或曲線幾何形狀。可以配置為測量輪廓、厚度、高度和晶格尺寸等參數。TENCOR AIT-I還集成了高通量圖像分析（包括邊緣檢測和紋理分析）,以提供快速和定量的計量數據。此功能有助於減少工藝周期時間並提高晶圓產量。KLA AIT-I單元進一步允許實時監測光掩模缺陷、光刻層缺陷以及入射晶片的測試響應。此外,還可以使用半自動對齊和配準功能來簡化掩碼與掩碼的比較。這臺機器還提供了與各種晶圓材料的兼容性，從堆叠到SOI基板。此外,KLA/TENCOR AIT-I可通過各種後端工藝步驟（如沈積、光刻、蝕刻和計量）促進跨平臺通信。它為在線和離線質量控制提供每個過程步驟中的計量數據。AIT I提供了一套功能強大的軟件工具,用於全面的數據分析。這些工具可用於深入和電阻率映射,以及測試結果的總體概率分布。此外,它還可以在單個測試環境中集成跨不同操作使用的多個測試軟件包。AIT-I旨在支持高級應用程序,例如開發用於內存、邏輯和嵌入式設備的細線模式。它對測試精度和可重復性的嚴格控制進一步確保了大批量生產過程中晶圓產量的提高和故障率的降低。