二手 KLA / TENCOR AIT II #293595222 待售

ID: 293595222
Defect inspection system Dual cassette, 8" with SECS II.
KLA/TENCOR AIT II是為半導體工業設計的最先進的自動化內聯晶片測試和計量設備。該系統支持包括205、300和450mm在內的各種晶圓類型。它對包括臨界尺寸(CD)、薄膜厚度、蝕刻深度、氧化物厚度和化學機械平面化(CMP)工藝監測在內的各種參數提供可靠和準確的測量。該單元采用光學成像、散射法和計量技術的組合,精確測量復雜的半導體結構。該機與先進的信號處理算法、數據驅動模式識別解決方案和先進的機器學習相結合。使用這些技術,它可以快速提供比手動測量更準確、更全面的數據。該工具還與一系列全面的軟件工具和數據分析工具集成在一起,為用戶提供了快速評估關鍵流程和質量指標的能力。KLA AIT II還提供精確可靠的高通量測試解決方案。它具有可調視線(LOS)和入射角(AOI)功能,允許用戶優化CD測量。該資產還能夠識別晶圓表面難以辨認的特征和缺陷,包括顆粒、碎片和變色。這有助於減少可能導致產量損失的錯位和不準確的風險。TENCOR AIT II通過其模塊化和可升級的體系結構,提供了從工藝開發到生產的高效且經濟高效的測試解決方案。它提供遠程支持功能以及可定制的用戶友好界面,以便於操作和維護。它還配備了廣泛的平臺,包括DfX、SPC、Advanced Process Control(APC)等。AIT II是一種創新而強大的晶圓測試和計量模型。它旨在為半導體行業提供可靠、準確和經濟高效的解決方案。設備先進的信號處理算法、數據驅動的模式識別解決方案以及先進的機器學習能力有助於確保準確的測量和卓越的質量控制。此外,其靈活的體系結構、自定義選項和遠程支持功能有助於提供高效且經濟高效的測試解決方案。
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