二手 KLA / TENCOR AIT II #293767209 待售
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單擊可縮放
KLA/TENCOR AIT II設備是一種先進的晶圓測試和計量工具,旨在提供最高精度的結果。它采用專利的兩級光學系統,對亞微米器件結構和平板進行精確檢測。該設備能夠對當今的縮放和尖端平面設備進行可靠和高精度的缺陷檢查。KLA AIT II包括高級成像、缺陷發現和計量功能,以提供更高的檢查可靠性、速度和吞吐量。它配備了可提供高達400X放大倍率的電動變焦鏡頭,以及獲得專利的圖像強化陰極發光(ICL)子系統,以高效檢測、定位和測量甚至最小的缺陷。此外,該機還具備強大的多光譜圖像處理能力,最大限度地提高缺陷分類精度和吞吐量。TENCOR AIT II利用多種圖像處理算法和軟件工具來分析晶圓數據。其中包括圖像子像素定位、可追蹤性、基於特征的亞微米結構綜合檢測計量等。此外,該工具的自動化控制功能允許操作員快速校準和優化特定任務的資產功能。AIT II模型還提供了智能缺陷分類(SDC)功能,可自動檢測和分類關鍵缺陷類型。SDC特性對於監測半導體制造環境中的產量損失特別有用。它可以快速準確地識別一系列缺陷的原因和嚴重程度,從而使用戶能夠改進其過程控制。最後,KLA/TENCOR AIT II還提供了圖像掩模檢查功能,以確保掩模覆蓋範圍滿足規格要求。這種晶圓成像技術使用戶能夠識別、分析和比較從同一掩模的多個片段生成的圖像的關鍵特性。總體而言,KLA AIT II設備是一種先進的晶圓測試和計量工具,可用於發現、分析和測量小缺陷。憑借其兩級光學系統和強大的圖像處理能力,它使用戶能夠顯著提高其晶圓和硬件產量。
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