二手 KLA / TENCOR AIT II #9227399 待售

KLA/TENCOR AIT II是一個最先進的晶圓測試和計量系統，旨在測量和分析晶圓表面上的設備到納米分辨率。它能夠將幾種計量和光學檢查技術結合在一個通道中，這使得它能夠識別和測量晶圓上不同器件的各種形狀、大小和特性，包括晶體管、電阻器、電容器和其他半導體元件。KLA AIT II依靠高分辨率成像的結合，結合光學高級計量，來實現納米級分辨率。它由晶片級、3D顯微鏡組件和容納激光光學、相機光學和控制器的主單元組成。晶片級保持晶片，而3D顯微鏡組件具有高分辨率物鏡，可以測量晶片上微觀特征的精確位置。這使得顯微鏡能夠精確測量晶圓表面上元素的形狀、大小和其他特性。TENCOR AIT II的主單元容納了光學元件，包括激光傳感器、相機光學元件和控制器。激光傳感器利用低功率激光揭示晶圓表面的奇特特征。這種光照亮晶片表面上的特征，使軟件能夠檢測到它們。相機光學器件允許用戶拍攝晶圓表面的照片，可以用來創建詳細的圖像。最後,控制器作為系統的「大腦」,控制晶圓級、3D顯微鏡組件以及激光傳感器、照相機和光學器件的運行。AIT II旨在減少晶圓的回收和拒絕,減少周期時間,並提高產量和工藝控制。它能檢測到88納米或更高級別的特征，視野150 mm，是工藝和器件表征的理想工具。它還可以用於在潛在的故障模式成為問題之前識別它們，並幫助制造商消除或減少未來的產量損失。總體而言，KLA/TENCOR AIT II是一個先進的計量晶圓測試和計量系統，可以快速準確地收集數據到納米級分辨率。它旨在提高設備產量和減少拒絕,使其成為制造運營的寶貴投資。