二手 KLA / TENCOR AIT II #9281087 待售

KLA/TENCOR AIT II是一種最先進的晶圓測試和計量設備。它為各類晶片級檢測任務提供了高吞吐量和準確性。KLA AIT II憑借其先進的光學、高精度的運動控制和軟件,為晶圓上打印的圖樣提供了快速、可靠的計量和測試。TENCOR AIT II是結合全場成像能力和掃描電子顯微鏡（SEM）的混合系統。它旨在測量晶圓表面上打印的圖案的幾何形狀、大小、位置、分布和層厚度。該設備能夠以每小時5000-10000晶圓（WPH）的速度進行測試。AIT II有一個集成的光學檢查模塊，最多四個攝像頭。攝像機用於捕捉晶片圖像和測量圖樣大小。測量模式後,將其與一組標準進行比較,以確定其是否符合所需的工藝規範。機器的軟件還提供各種分析選項,例如線寬測量、板材電阻測量和晶粒尺寸測量。此軟件還可用於定義缺陷參數和控制關鍵尺寸。此外，該工具還采用集成掃描電子顯微鏡（SEM）來測量晶圓的地形。這有助於確保最佳流程控制,以及了解任何流程故障。SEM還精確檢測加工過的晶片表面上是否存在任何汙染物或金屬薄膜。總體而言，KLA/TENCOR AIT II為晶圓測試和計量提供了最先進的能力。KLA AIT II以其高精度的運動控制系統、先進的光學、模式分析軟件和集成掃描電子顯微鏡，是過程控制和缺陷檢測的絕佳選擇。