二手 KLA / TENCOR AIT II #9387208 待售

ID: 9387208
Defect inspection system, 8" Laser: 75 mW ASB Open handler Does not include: Computer Calibration wafers.
KLA/TENCOR AIT II是一種先進的晶圓測試和計量設備。該系統提供非接觸式光學計量,在晶圓檢測中實現高生產率和準確性。此外,它還采用了創新的梁線技術來提高精度和重復性.該裝置能夠以極高的精度檢測圖樣或其他精細特征中的表面缺陷、汙染物和缺陷,是保證晶片生產質量的理想選擇。KLA AIT II由緊湊的光學計量工具和用於參數設定、光學對準和數據收集的綜合控制機器組成。該工具利用線性比例的X-Y-Z平移,使得三維成像成為可能。該技術還能夠掃描各種圖形尺寸,圖像分辨率高達0.5微米。這允許檢測任何可能難以用肉眼發現的瑕疵。該資產采用了幾種創新技術來提高圖像保真度和圖像處理速度。其中包括先進的自動聚焦機構、冗余光源、一組光束線光學器件以及光束路徑控制和自展平衡。激光自動聚焦為靜態和高速成像應用提供了高精度和擴展的動態聚焦範圍。冗余光源提供照明冗余和一致的圖像亮度。光束線光學提供了具有精確短波長照明的廣域成像和高分辨率成像。光束路徑控制允許在大表面積上進行廣域測量,並具有快速叠代和圖像采集速度。自動密度平衡可在整個成像區域提供一致和準確的照明。這些技術結合起來,為樣品鑒定提供了卓越的圖像保真度和更高的吞吐量.TENCOR AIT II晶片測試和計量模型為晶片檢測和生產提供了一個可靠可靠的平臺。該設備的先進技術提供了無與倫比的圖像保真度,能夠在操作人員參與程度最低的情況下進行精確的測量。先進的光學計量能力使其成為生產應用的理想選擇。
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