二手 KLA / TENCOR AIT III #293711267 待售
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KLA/TENCOR AIT III是為半導體器件生產而設計的晶圓測試和計量設備。該系統允許進行各種高精度測量，包括晶片上的電氣測試、光學和熱測試，以及查明晶片表面上的特定缺陷。KLA AIT III既能夠面對生產線的高需求,又能夠快速發現任何與過程相關的問題。在全面測試時，它可以處理高達200毫米的晶片，吞吐量高達每小時幾百個晶片。該單元旨在防止成本高昂的返工,並快速識別和量化任何與流程相關的問題。TENCOR AIT III能夠提供在線和離線測試。它能夠進行彩色成像、粒子計數、逐模屈服分析、裝箱、光學和電氣缺陷搜索、晶圓均勻度測試和線緣粗糙度測量。它還能夠從晶圓級測試到芯片級。AIT III由獨特的Autofocus軟件提供支持,即使在高批量生產中進行測試所需的高數據速率具有挑戰性,它也能夠快速識別設備。它還具有一個閃存可編程DSP機器，它能夠全面的實時分析和過程監控。例如,該工具可以監視過程中的任何模式識別或產生性能問題。總體而言，KLA/TENCOR AIT III是半導體器件生產的強大工具。它提供了大量精確的測量，可以在線和離線使用。其獨特的Autofocus軟件,加上其強大的DSP資產,使其在設備生產和測試方面具有無價的價值。
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