二手 KLA / TENCOR AIT III #293814774 待售

KLA/TENCOR AIT III是一種提供準確可靠結果的綜合性、高性能晶圓測試和計量設備。該系統包括高速晶圓定位單元、具有自動缺陷分類和晶圓級評審功能的強大計量機，以及用於存儲結果的強大集成數據庫。KLA AIT III中的晶圓定位工具為粗細晶圓操作提供了卓越的精度和精確度。它能夠處理200毫米大小的晶片,並且可以通過線性路徑或角度組合以實現二維定位和更快的晶片吞吐量。資產還允許靈活的對齊和對齊驗證過程。TENCOR AIT III中的計量模型融合了幾種高性能技術，包括光學掃描、電子顯微鏡和X射線光電子光譜（XPS）。這一先進的計量工具能夠在廣泛的參數範圍內進行從納米到微米的精確測量，以檢測超低和納米尺度尺寸的潛在缺陷。每個測試的結果都被組織起來並存儲在一個集成數據庫中，操作員可以訪問該數據庫以進行進一步分析。除了計量和晶圓定位系統外，AIT III還包括了復雜的缺陷分類和晶圓級評審功能。通過使用先進的算法和模式識別技術，設備能夠快速識別和隔離各種潛在缺陷，並將其分類為一組預定義的類別。此功能強大的缺陷分類系統可幫助操作員快速識別和解決任何潛在問題,從而加快晶片的周轉時間並提高晶片合格率。總體而言，KLA/TENCOR AIT III是晶圓測試和計量的極為有用的工具。憑借先進的晶圓定位、計量和缺陷分類能力，該單元能夠識別和隔離廣泛的潛在缺陷，準確測量各種參數。此外,集成數據庫允許輕松訪問測試結果,而靈活的對齊和對齊驗證過程則提供一流的晶圓性能。