二手 KLA / TENCOR AIT UV #9054841 待售

KLA/TENCOR AIT UV是晶圓測試和計量的先進工具，為半導體行業提供了完整的解決方案。它使用高端光學、運動控制和半導體技術來評估各種晶圓的電氣、物理和光電特性。晶圓測量和計量設備結合了幾種測量技術來確定晶圓的產量、性能和可靠性。該系統包括光譜測量、電阻抗測量、電子束感應電流（EBIC）測量、電容電壓（CV）測量、電場剖析（EFP）和光學幹涉測量（OIM）等多種復雜的測量工具和技術。這些測量功能用於提供有關晶片的電氣和物理特性（如厚度、薄片電阻、摻雜輪廓以及缺陷大小和位置）的準確而詳細的信息。設備提供的高級晶圓映射功能使用戶能夠在廣泛的空間尺度上快速準確地檢查單個晶圓。該機器用途廣泛，能夠處理各種晶圓規格，如具有不同熱膨脹系數和弓形系數的基板。晶圓映射功能包括具有納米精度的晶圓的實時對準和分辨率。該工具利用具有強紫外線光源的閉環提供主光束光學計量，並利用CO2激光進行二次光束計量。資產還有一個串聯晶片加載模塊，一次最多可處理200個晶片。此外，該模型還包括一個元件分析單元、一個用於聚焦和定位光學元件的精確運動控制設備、一個高速信號處理器和一個高速數據采集系統。綜上所述，KLA AIT紫外線晶片測試和計量單元利用了幾種先進的技術來提供各種晶片的精確測量和分析。它包括具有強烈紫外線光源的閉環機、元件分析單元、運動控制和高速數據采集工具。此外，資產還提供快速、精確的晶圓映射功能，使用戶能夠快速、準確地檢查單個晶圓。