二手 KLA / TENCOR AIT UV #9099586 待售
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KLA/TENCOR AIT UV是一種利用紫外線光源檢測和分析半導體晶片的晶片測試和計量設備。該系統用於制造集成電路、內存芯片、晶體管等電子元件。測試單元采用專門設計的大型表征模塊，用於檢查和評估樣品的物理和光學特性。KLA AIT UV機利用與正在制造的晶圓範圍相匹配的UV光源。然後將光源與高度精確的儀器包結合使用。測量儀器的特征參數如厚度、薄片電阻率、表面地形、汙染、反射率和摻雜濃度。該儀器包還具有測量樣品的光學特性如消光系數、總透射率、反射率和吸收率的能力。該工具采用先進的光學成像資產構建,用於測量設備結構和功能的分辨率,並能夠提供高分辨率圖像。該模型還配備了高靈敏度光電探測器和圖像采集裝置，以捕獲必要的圖像。在設備中設計了一種特殊的紫外線顯微鏡，以方便設備結構和特征的精確測量和定位。顯微鏡能夠掃描多個視野，深度可達25微米。TENCOR AIT-UV晶片測試和計量系統也能夠表征各種樣品類型。該單位可以測量塗層、玻璃和電介質的光學性質。它還配備了最先進的成像機，可以測量樣品表面結構的亞微米振幅頻率特性。最後,該工具與高級軟件集成在一起,可以快速準確地捕獲、分析和報告測量結果。該軟件具有直觀的用戶界面，允許用戶實時監控測量並管理測試數據。數據處理和分析工具也可用於預測和高級質量分析。總之，AIT-UV是利用紫外線光源快速準確地評價樣品物理和光學性能的綜合性晶圓測試和計量資產。它配備了一套先進的儀器、成像系統和軟件，用於可靠地表征樣本和收集測量數據，用於預測和高級質量分析。
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