二手 KLA / TENCOR AIT UV #9124364 待售
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ID: 9124364
晶圓大小: 6"-12"
Automated dark field defect inspection station, 6"-12"
For pattern wafers
3-Spot sizes included
Standard KLA AIT operator interface monitor
Standard KLA AIT operator keyboard
Trackball and joystick
Standard KLA media devices: FD, CD Drives
Operating system: Windows NT
CE Marked.
KLA/TENCOR AIT UV是一種自動化晶片測試和計量設備,設計用於精確檢測和測量半導體晶片上的缺陷。它用於評估晶片的質量,以滿足集成電路(IC)制造工藝的高速和精度要求。該系統基於先進的光學成像技術,具有紫外線和納米傅立葉變換紅外(FTIR)顯微鏡兩種不同的最先進的光學系統。紫外線顯微鏡捕獲高分辨率和低噪聲水平的圖像數據,而FTIR顯微鏡則便於化學分析和檢測晶圓表面的顆粒。此外,它還配備了自適應、自定位激光掃描技術和自動聚焦裝置,用於快速和精確的成像和測量。KLA AIT UV被設計為一種便攜式、機載機器,能夠測量各種晶圓缺陷,包括坑、劃痕、顆粒物、透明顆粒、顛簸和翹曲。也可用於檢測異常,進行晶圓表面分析。為了提高靈活性,該工具包括多種工具,如驅動程序、晶圓映射軟件和KLA專有的AlignToVision高精度對齊控制。對於高數據保真度,該資產包含數字信號處理器,以支持高級圖像和數據處理。為了進一步提高精確度,它采用微機電系統成像技術進行精細關聯和高分辨率測量。此外,TENCOR AIT-UV還提供有關晶圓特性的反饋,例如對比度、背景、清晰度、噪聲和異常值檢測。AIT UV的其他特性包括多種測試模式、通過web界面進行遠程操作、強大的模型後備保護以及對各種SEMI標準的支持。這種設備還被設計為滿足環境和工業安全要求,允許在惡劣的制造環境中使用。總而言之,KLA AIT-UV是一個強大的質量控制系統,它以合理的價格提供可靠、高分辨率的成像和計量功能。它允許更快、更準確的測量,並提供詳細的反饋和見解以提高生產效率。
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