二手 KLA / TENCOR AIT UV #9147837 待售

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KLA / TENCOR AIT UV
已售出
ID: 9147837
晶圓大小: 6"
Darkfield inspection system, 6".
KLA/TENCOR AIT UV是一種用於自動晶圓測試和計量的先進檢測技術(AIT)設備。AIT系統旨在解決為質量控制目的識別和測量半導體晶圓表面上最小缺陷的難題。KLA AIT UV是一個獨特的系統,利用紫外線和先進的圖像處理算法,以最高的精度檢測半導體晶片的表面。該單元利用兩個高分辨率攝像機捕捉晶片每一側的圖像,其中入射光和反射光以同心圓排列,可以根據應用和需要選擇檢查過程的速度。攝像機配置為生成復雜的2D圖像,並將這些圖像傳輸到板載圖像處理器,該處理器應用專有算法來檢測、分類和測量晶圓上的潛在缺陷。捕獲的圖像可以使用專用軟件進行存儲和進一步分析。這臺機器還具有先進的光學通路,它可以檢測缺陷到一個納米精度。先進的光學透鏡用於近距離投射晶圓的高度詳細的UV圖像,並提供短的工作距離以達到最大精度。它能夠檢查塗有薄膜、顆粒、其他汙染物的晶片或顯示層中的缺陷,並提供全面的缺陷分類功能。TENCOR AIT-UV還具有廣泛的自動化功能,以簡化檢查過程。實時缺陷表征、模式識別和晶片排序控制是有助於晶片生產和過程監控的廣泛應用的一些功能。此外,強大的自動化功能提供了可重復的測試和測量過程,使操作員能夠提高吞吐量並降低人工成本。最後,其直觀的用戶界面確保晶圓檢查過程易於配置和操作,而軟件集成促進了工具與其他工業設備的兼容性。該資產旨在滿足半導體行業所需的最高性能標準,其高分辨率成像、微觀分辨率和自動化的結合使其成為晶圓測試和計量的理想解決方案。
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