二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228059 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一種晶圓測試和計量設備，旨在為半導體器件制造過程控制提供分析和反饋。它利用先進的紫外線成像技術生成高分辨率圖像，用於精確分析。該系統提供了廣泛的計量功能,支持從1.5英寸到更大的12英寸晶圓的各種設備產品。在低溫沈積過程中，UV+利用多攝像單元同時利用電荷耦合器件（CCD）和高功率紫外線（UV）照明。這種相機組合允許對低至0.36 µm的功能進行成像,並且可以配置為2D或3D成像模式。該機器可用於測量許多參數,包括地形、應力、幾何形狀、叠加、叠加配準、反射率、接觸電阻率和材料層。該工具具有自動識別工具和prober軟件,用於全自動分析和分析。資產軟件允許對自定義操作進行編程,以執行晶圓測試和分析的特定任務。該模型具有先進的晶圓檢測能力，使用專門算法檢測包括粗糙度、空隙、模式偏移、橋接和缺失特征在內的模式缺陷。它還可以檢查一系列先進材料和先進電路，如碳納米管和非易失性記憶裝置。分析方法還可用於檢測和測量其他材料相關特征，如蝕刻速率、閾值電流、晶體管特性和堆叠方差。該設備具有清潔和處理能力，可提高晶圓產量和工藝控制。它還具有使晶圓處理自動化的內置處理過程。該系統具有可編程目標ID等功能,可支持制造和診斷操作的高級日誌記錄。總體而言,KLA AIT UV+是一個強大而全面的晶圓測試和計量單元,它提供了高級半導體制造過程控制和分析的廣泛功能。它提供高精度和可重復的測量,具有可調的靈活性,以確保最佳的最終產品質量。