二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228105 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一種高精度晶圓測試和計量設備，旨在對半導體制造業中使用的晶圓進行最精確、最全面的測量。該系統允許晶片制造商精確測量晶片上元件的形狀和尺寸，如斜坡、臺階和型材。該單元結合多種技術，創建晶圓性質的綜合度量。機器開始使用雙光束激光掃描工具精確映射晶圓的形狀和特征。激光掃描並捕獲晶片表面的圖像。然後,此圖像將進行分析,以創建曲面特征的3D映射。這是伴隨著一個光學檢測的全球地形階段，用於觀察表面的整體平坦度。UV+資產包括一項獲得專利的紫外線反射技術,該技術可捕獲特定於材料的地形測量,從而允許直接相對材料測量。此技術使模型能夠以極高的精度測量晶圓厚度、輪廓、步長和樹突。該設備還包括一個擴展的多通道選項，用於更全面地測量材料和形狀特性。通過包含基於軟件的方法控制工具,這種增強的測量能力變得更加強大。這些功能使晶圓制造商能夠快速設置和執行針對其生產需求的精確測試協議。KLA AIT UV+系統是一個功能強大且高度精確的晶圓測試和計量平臺，能夠為半導體工業中使用的晶圓提供精確測量。它結合了激光掃描和紫外線反射技術，確保了形狀和材料特性的精確測量，而其基於軟件的方法控制工具則能夠進行高效和可重復的測試。總而言之，該單元是精確測量晶片上元件形狀和尺寸的寶貴工具。