二手 KLA / TENCOR AIT UV+ #9228106 待售

KLA/TENCOR AIT UV+是一種晶圓測試和計量設備，利用紫外線輻射精確測量晶圓表面上的圖樣。該系統提供了無與倫比的精確度，視野大約是光學顯微鏡的40倍。通過非常精確的測量，該裝置能夠識別出太小而光學顯微鏡看不到的結構缺陷。機器的核心是先進的光學設計。這種設計使用了一種專利光學技術，稱為球透鏡映射（Ball Lens Mapping），它允許非常高的紫外線成像分辨率。該工具使用一系列透鏡和鏡子來收集和聚焦晶圓發出的光，然後將該光分為三個色帶（UV、可見藍色和可見綠色）。數碼CCD相機分別捕獲每個色帶中的圖像，以便產生樣品的詳細圖像。KLA AIT UV+還可以執行多種計量功能。它配有一個校準臂，可以測量晶圓上不同結構的寬度和間距。它還有一個自動特征提取引擎，可以測量晶圓上的特征，分辨率低至0.01微米。通過使用此自動化資產,用戶可以快速識別、檢查和糾正生產過程中的表面缺陷。TENCOR AIT UV++模型極快高效。它具有無與倫比的精度和實時分析功能,能夠快速準確地表征晶圓表面上的結構。利用其自動特征提取引擎,用戶可以快速準確地檢查曲面,從而獲得最大的準確性和吞吐量。該設備易於使用，並提供滿足半導體行業不斷變化的需求所需的靈活性和功能。