二手 KLA / TENCOR AIT UV #9228297 待售

KLA/TENCOR AIT UV是一種晶圓測試和計量設備，設計用於對半導體器件內的微結構和先進材料性能進行高精度和精確的測試和測量。該系統的工作原理是在真空環境中用強大的紫外線（UV）光源掃描晶片，並測量材料對光的吸收。這種掃描是以超快的方式進行的，使用快速的紫外線射出，精確定位和產生不同的激光源隨時間變化。然後，一組探測器從掃描的晶片中獲取特定的測量值，以評估材料的質量、復雜性和特性。KLA AIT紫外線系統具有很高的可配置性，可用於各種實驗室和工藝應用。這包括能夠創建功能強大的高級計量過程,這些過程具有一系列功能,如缺陷檢查、產量分析、3 D產量圖、叠加、織帶和模內電氣測試。該單元還可以與透鏡、折射鏡和分束器立方體等多種光學元件耦合，以獲取定制的測量值。TENCOR AIT-UV還考慮了噪聲和穩定性,采用AIT（高級圖像測試）技術,可以在無聲條件下掃描材料。這是通過先進的信號分析技術和噪聲與有用信號的分離來實現的。這樣可以提高測量的準確性和更好的數據結果。為了為用戶提供最高水平的樣品穩定性和測試精度,TENCOR AIT UV具有較低的熱漂移特性,即使在長期運行中也能保持一致的材料調節。此外，它還利用現代數據采集和數字化技術，從不同尺寸的材料中獲取準確、高分辨率的數據。AIT-UV機具有直觀的用戶界面，可以方便地操作和控制設備。它采用自動控制工具設計,可以在運行過程中根據需要精確修改參數,並提供一系列數據輸出選項。此外,它還具有實時性能顯示功能,可通過分級報告和圖形表示來監視測試進度。所有這些特性使得KLA/TENCOR AIT-UV成為一種功能強大且可靠的半導體器件和材料晶圓測試和計量解決方案。它為用戶提供了在精度、速度、靈活性和適合廣泛應用方面的全面測量功能。