二手 KLA / TENCOR AIT UV #9257792 待售
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已售出
ID: 9257792
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Dark field wafer particle inspection system, 8"
(2) Open cassette wafer loaders
SECS-GEM
High resolution image grab
HLAT
IADC
Patch grab
Real time classification
RTA
Signal tower
Spot size: 2.2 UM
Spot size: 3.5 UM
Spot size: 5 UM
Wafer shape: SNNF (Semi Notch No Flat)
(2) Cassette ports
KM-803P-K Wafer cassette 8" PP
No SMIF Interface
Advanced patterned wafer inspection system
Laser: UV Laser for 90 mW (364 nm)
Microscope review objectives: 50x, 100x, 150x
Computer
Image computer
Keyboard
Floppy Disk Drive (FDD)
Wafer handler: Dual open cassette loader, 8"
Robot
Prealigner
Includes:
Pillar module
Blower unit
No PSL 0.494 um wafer
No caltile wafer
CE Marked
2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT UV是一種晶圓測試和計量設備,旨在快速準確地診斷半導體器件中的缺陷。它檢查半導體晶片上骰子和模具墊的表面,以揭示和分析潛在的缺陷,如劃痕、凹坑、碎屑和空隙。KLA AIT UV利用UV光刻和光學移位技術來定位和檢查被檢測器件區域的表面。高分辨率物鏡能夠探測器件區域,檢測空隙、裂紋、缺陷等異常。高分辨率成像功能為用戶提供了一套功能強大的圖像處理工具,用於查看和分析結果。TENCOR AIT-UV可以檢查多種格式的設備,包括裸模、封裝元件、纖維圖案基板以及固化和未固化的顯示器。它能夠執行非接觸式X射線成像,提供無失真放大倍率,並提供關於細線尺寸、晶體管尺寸和其他一些設備參數的反饋。此外,KLA AIT-UV先進的模式匹配技術旨在快速檢查被檢查設備的各種元素並驗證圖像。然後,此數據用於確定正在檢查的設備與基線設計之間可能存在的潛在差異。KLA/TENCOR AIT-UV還擁有運行各種數據分析測試的能力。這些測試可用於診斷缺陷和分析產量問題,如壓模產量和產品質量。它的自動化系統可以在同一個晶片上一通進行多次測試,節省時間和金錢。此外,它還提供了高級計量功能,可用於評估晶圓廠產量數據。AIT UV具有用戶友好的軟件單元,可簡化測試和計量過程。高級用戶界面允許用戶創建和存儲配方,編程多個測試階段,並在必要時終止測試會話。這使得機器非常靈活和快速-用戶可以用最小的努力快速配置和運行測試。總體而言,TENCOR AIT UV是一種用途廣泛、功能強大的晶圓測試和計量工具,為用戶提供了一種高效準確的半導體器件缺陷定位和診斷方法。該設備具有高分辨率成像能力和創新的模式匹配技術,是對高精度器件區域進行快速檢測和分析的理想選擇。
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