二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285827 待售

KLA/TENCOR AIT UV是下一代計量設備。其目的是衡量在制造環境下生產的晶片的質量。這是IC生產中必不可少的過程，需要精確的尺寸精度和過程控制。系統使用多種技術在紫外線環境中檢查晶片。該技術采用先進的成像、光束剖面圖和圖案化能力來測量晶圓表面到納米精度。這包括光學和聲學映射晶片。成像裝置采用高性能共聚焦顯微鏡。這允許比其他系統更嚴格和準確的分析。其分辨率和精度可以測量到納米級的表面特征。它能夠檢測地形、表面光潔度和均勻性。梁剖面儀利用二維梁形測量能力。它能夠對晶片表面進行高速、精確的表征。這有助於確保晶片和基板之間存在適當的關系。此外，圖樣化工具包括一個納米級檢查的特征轉移。此過程用於將圖樣化層從一個基板傳輸到另一個基板。這有助於改進工藝參數並保持制造所需的精度。這種高性能的計量資產提供了出色的結果和可靠性。它能夠測量晶片的關鍵特性，並有助於確保晶片符合所需的規格。KLA AIT UV是保持晶圓生產質量和優化工藝參數的關鍵.該模型提供所需的精度、精確度和可重復性,以確保在制造過程中僅使用可接受的晶片。