二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285844 待售

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9285844
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR AIT UV是一種晶片測試和計量設備,在納米級測量晶片的電性能。它提供晶圓電性能的自動化、無損測量,如擊穿電壓、電阻和電容,以及以同樣高精度提供全方位的半導體計量能力。KLA AIT UV系統由幾個組成部分組成.Ultra-Violet相機傳感器用於檢測半導體結構,從而能夠自動查看和測試單個結構。相機使用濾光片檢測不同的紫外線波長,提供準確和可重復的測量。該單元包括一個脈沖和偏置控制單元,用於創建晶圓的測試脈沖。這種脈沖電流探針結構(PCPS)能夠在重復循環中精確檢測和測量半導體特性,包括擊穿電壓和電荷收集。TENCOR AIT-UV以多種影像模式運作,包括全區域成像、局部區域成像、線掃描成像和影像縫合。每個圖像模式都有自己的掃描,具體取決於特定的應用程序。例如,部分面積成像用於測量晶圓上單個設備的性能。線路掃描成像用於測量具有多個設備元件的晶片的電性能,如芯片組。圖像縫合用於較大的晶圓結構,其中圖像被分割成子掃描以獲得更大的細節。機器的圖形用戶界面(GUI)提供了數據的實時可見性以及它如何受到晶圓測試條件的影響。該工具的多渠道處理功能加快了分析速度,允許用戶查看圖像和編輯分析策略,同時仍在多個通道上進行測量。Advanced Intelligent Test (AIT)功能允許自動分析測試結果和建議,以調整設置或實驗條件。結果可以無縫儲存和開采,以便進一步研究。AIT UV是一種用於確保晶圓結構準確電氣測量的強大資產。它的高級功能確保了準確的成像,而以用戶為中心的設計提供了準確、可重復和可靠的數據。它是半導體研究、設計和制造的理想測試和計量模型。
還沒有評論