二手 KLA / TENCOR AIT UV #9285845 待售

KLA / TENCOR AIT UV
ID: 9285845
Darkfield inspection system.
KLA/TENCOR AIT UV是一種晶片測試和計量設備,能夠對半導體晶片進行先進的尺寸和缺陷檢測。它精確準確地測量半導體晶片上結構的寬度、長度、形狀和其他特性,以檢測非常小的缺陷或不規則性。它配備了獨特的紫外線(UV)光源,提供高對比度成像。該系統檢測到低至0.5微米的非常小的缺陷,可以測量低至10納米的特征。KLA AIT紫外線裝置是完全自動化的,能夠測量晶圓上的平面結構和三維結構。它提供卓越的分辨率、靈敏度和速度,以及諸如自動聚焦於晶圓表面、用於快速測量的內存功能以及同時進行的樣本掃描和計量等功能。其先進的顯微鏡平臺基於KLA平臺無關的光學,能夠同時測量晶圓表面的各種特征。TENCOR AIT-UV還設計用於支持各種晶圓類型和尺寸。它可以配置多個激光器、探測器、照相機和光源,以滿足每個應用程序的特定需求。它還配備了一個先進的紫外線窗口,用於快速準確的晶圓測量,以及一個直觀的用戶界面,允許在應用程序之間快速切換。該機還能夠進行圖像分析、數據驗證和缺陷識別。AIT-UV還配備了先進的計量工具,可以捕獲廣泛的數據,包括用於精確缺陷測試的3-D地形和3-D成像。它能夠同時檢查晶片的多個特征,同時提供高速、高精度和可重復性。該工具還能夠檢測各種缺陷,從小異常到宏觀級缺陷,從而實現有效的故障隔離和晶圓修復。總體而言,KLA/TENCOR AIT-UV是先進的晶圓測試和計量資產。它為缺陷檢測和特征測量提供了最先進的準確性和靈敏度,並設計用於支持各種晶圓類型和尺寸。其特點包括獨特的紫外線光源、先進的顯微鏡平臺、圖像分析、數據驗證和缺陷識別。AIT UV是一種可靠、高效、多用途的型號,與其他類似工具相比,可提供卓越的成本優勢。
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