二手 KLA / TENCOR AIT XP+ Fusion #9145961 待售

KLA/TENCOR AIT XP+Fusion是一款為半導體晶圓制造而設計的高端晶圓測試和計量設備。該系統由一個自動晶片檢驗計量站（AIT XP）、一個自動晶片鋸（Saw 2000）、一個薄膜計量模塊（FTM）和一個可變場光學剖面儀（VPP）組成。AIT XP+能夠測試和分析多達400毫米的晶圓,傳統上在8英寸晶圓上進行的測量速度是原來的20倍。AIT XP+是一個多功能的晶圓計量測試單元，結合了成像能力、先進的光源曝光技術，以及非接觸式、高精度的計量。首先，其先進的成像能力使得晶圓檢測具有專利算法，以實現高吞吐量和精度。其次，AIT XP+的創新光源技術確保特征被精確檢測和測量，即使在晶圓的極端邊緣。第三,FTM光源具有獨特的輪廓統計信息,可提供可靠的質量控制計量解決方案,提供精確和可重復性。第四，VPP對地形和化學特征提供高精度、可控的非接觸測量，如顛簸、劃線、錐度和表面化學。KLA AIT XP+Fusion是一臺強大的機器，結合了這些技術，使晶圓檢測和計量能夠快速準確。其先進的設備提供了先進的成像、照明和計量技術，從而能夠更快地測量樣品並提高檢測精度。此外,集成的報告工作流允許用戶跨任何參數快速分析其結果。此工具具有多種客戶優勢,包括提高流程產量、縮短吞吐量時間和提高產品可靠性。此外,利用KLA高級分析技術的AIT XP+提供了無與倫比的數據分析和過程洞察力。因此,TENCOR AIT XP FUSION是確保準確性、可靠性和性能的完美工具。