二手 KLA / TENCOR AIT XP+ #78831 待售

KLA/TENCOR AIT XP+是一種先進的晶圓測試和計量設備。該系統旨在檢測和識別半導體晶片薄膜材料中的缺陷和雜質。KLA AIT XP+能夠測量厚度、蝕刻速率和長寬比等參數。它還具有檢測非均勻性的能力,允許制造商確保其晶片保持在規格範圍內。TENCOR AIT-XP+是一個獨立的單元，意味著它可以獨立使用或集成到現有生產線中。該機器由三個主要組成部分組成：一個試驗室、一個計量單元和一個數據分析模塊。該腔室利用先進的光學器件，包括氦硼激光和全光譜照相機，掃描和測量晶圓的拓撲。KLA AIT-XP+所使用的激光線掃描方法是為了精確地測量厚度、長寬比、蝕刻速率等薄膜參數而設計的。KLA/TENCOR AIT-XP+的計量單元具有自動化計量工具。該資產的工作原理是掃描整個晶片,然後將生成的數據與存儲的值進行比較,以確保準確性並檢測薄膜材料中可能存在的缺陷。自動計量模型還包括在線自動缺陷審查,使操作員能夠快速高效地識別和標記出現的任何問題。最後,數據分析模塊提供了晶圓的全面視圖.這允許運算符檢測非均勻性以及分析每個晶圓的完整幾何和屈服。數據可以存儲,任何檢測到的問題都可以很容易地追蹤到它們的來源。這樣,操作員可以快速識別任何問題並及時解決。AIT-XP+是檢測和測量半導體晶片上存在的薄膜材料表面缺陷、非均勻性和表面粗糙度的理想選擇。該設備旨在滿足生產和研究行業的苛刻需求。其精密的光學、自動化計量系統和數據分析模塊減少了晶圓處理時間，有助於最大限度地降低產量損失的風險。