二手 KLA / TENCOR AIT XP+ #9087846 待售
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ID: 9087846
晶圓大小: 8"
優質的: 2000
Patterned wafer inspection system, 8"
Handler: (2) SMIF Ports type: Asyst – INX2200
Robot: ATM-407B-2-S-CE-S293 (Dual Puck) / Brooks (PRI)
GEM / SECS HSMS SFTWFR
SW (OS): ms-Windows NT 4.0 SP6
SW (APP): 6.2 Build 40 SP14
180-264 V, 60 A, 50/60Hz, EU (4-Pole, 5-Wire)
CE Marked
2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP+是一種晶圓測試和計量設備，旨在為掩模車間、晶圓廠和其他半導體鑄造廠提供最高水平的工藝控制和資產利用率。它結合了多能量層計量學和大面積成像，能夠對復雜的設備特征進行快速和可重復的測量。該系統利用深度學習和人工智能等最先進的計算技術，能夠消除粒子和表面檢查，減少停機時間。該單元還能夠在單個時間點處理多個晶片。該機器利用6層計量來測量設備特征的不同方面,如厚度、幾何形狀和輪廓,其精度高達14nm。它具有多種特性和功能,可確保精確、可重復的測量和可靠的過程控制。該工具專為獨立應用程序和內聯應用程序設計,能夠通過連續監控和事件控制以及支持邊緣控制來進行串聯過程控制和監視。過程控制和數據挖掘等附加功能可以更準確地控制過程參數,並提高過程產量。此外,該資產能夠自動進行缺陷分類和基於缺陷的過程驗證,速度比以前的模型快三倍。其檢測傳入材料缺陷並對其進行分類的能力為晶圓測試和計量提供了更高效的過程。最後，該模型還有一系列軟件和通信選項。這包括兩個以太網端口和兩個用於外部通信的RS-232端口,以及用於數據收集、分析和報告的可用軟件。總體而言,KLA AIT XP+是一款先進、功能強大且可靠的設備,滿足業界對晶圓測試和計量的最苛刻要求。它具有多種特性和功能,可確保精確、可重復的測量和可靠的過程控制。它還包括全面的軟件、通信和聯網選項,以確保系統在幾乎所有代工廠環境中的平穩利用率
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