二手 KLA / TENCOR AIT XP #9122532 待售

KLA/TENCOR AIT XP是一種高度先進的晶圓測試和計量設備,旨在為工藝和產品改進提供可靠和準確的計量數據。KLA AIT XP的核心是晶片級系統,具有內置的RockSolid™autofocus和對齊能力,可確保測量的準確性和可重復性。雙軸Z掃描運動可在掃描過程中實現軟移動,並消除未對準和失真現象。這項先進的技術還提供了靈活性,並具有可選階段,可滿足高溫、低溫和低溫應用等高級要求。晶圓檢測儀配備先進的檢測機，由超快光譜成像技術組成，包括先進的照明技術、結構化照明和其他檢測缺陷的技術。該工具由高速高級圖像分析算法和可靠的後處理來補充，以自動測量一系列缺陷以進行高精度測試。SpectraSouce™軟件套件允許對缺陷進行實時納米級測量,為高級過程控制提供了一個全面的套件。先進的計量資產還包含電子束、臨界維度（CD）、叠加和其他計量測量的全部技術陣列。這包括電子束機構、舞臺配置和支持快速掃描的設計，精度和低噪聲。最先進的軟件套件提供全面的測量,如CD、叠加、線寬、表面粗糙度以及具有高級算法後處理功能的輪廓測量。對於光刻和高級工藝控制，TENCOR AIT-XP型號進一步配備了先進的離軸成像設備，支持一系列成像條件和孔徑配置。此外,系統還集成了頂級數據分析功能、直觀的模式識別方法以及可定制的報告功能。為了確保用戶的信心，AIT-XP設備按照嚴格的質量和可靠性標準進行嚴格的測試和檢查。該機器還得到了安裝和使用方面的全面技術支持。因此,用戶可以期望提高吞吐量和產量,降低廢品和保修成本,並優化過程控制。