二手 KLA / TENCOR AIT XP #9204139 待售

KLA / TENCOR AIT XP
ID: 9204139
晶圓大小: 8"
Wafer inspection system, 8" 1998-2000 vintage.
KLA/TENCOR AIT XP是一種高度先進和業界領先的晶圓測試和計量設備。這是一個功能齊全的半導體晶片工藝和產率分析觀測系統。它配備了先進的光學、圖像分析和減振工具。這使得它成為高精度光學測量和晶圓精確分析的選擇。KLA AIT XP配備了先進的照明功能,如區域耦合LED照明單元和多波段LED照明照明器,為樣品提供明亮均勻的照明。這樣可以實現更好的邊緣定義和改進的對比度,從而在變化的溫度和環境條件下降低圖像質量降級。TENCOR AIT-XP還使用強大的變焦光學技術進行光學和圖像分辨率重建,從而提高了測量精度。TENCOR AIT XP具有廣泛的工藝和產量分析專業能力。它提供了用於檢測過程中異常行為的高級CD計量(CDM)和故障點(POF)算法,並指出了產量損失的領域。它還具有Scan Map和Focus Map功能,可量化特定於焦點的semi-3D基準,例如深度精度和非接觸剖面圖。此外,AIT-XP與KLA和TENCOR檢查頭模塊(IHM)完全集成,使接口與各種IHM模塊保持中立,從而為用戶提供靈活易用的集成選項。KLA AIT-XP配備了強大的減振工具,在計量過程中提供了卓越的重復性,並最大限度地減少了振動對計量工具的影響。該機還提供溫度控制,為樣品的測量和重復性優化提供了最佳環境。此外,KLA/TENCOR AIT-XP可用於KLA/TENCOR PathFinder庫的獨立自動化環境。這提供了一整套自動化工具,包括全面的圖形用戶界面(GUI)工具和強大的應用程序編程界面(API)。AIT XP晶片測試和計量工具是半導體晶片工藝和產量分析的一項功能強大、功能豐富的資產。從先進的照明和光學到強大的圖形用戶界面和自動化環境,這一模型提供了全方位的高度先進的能力,用於可靠和可重復的測試和分析。
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