二手 KLA / TENCOR AIT XP #9253785 待售

KLA/TENCOR AIT XP是一種晶圓測試和計量設備，旨在確保半導體器件的高質量生產。該系統設計用於檢測和驗證晶片質量,通過自動測試和測量物理電性能,如厚度、摻雜濃度、電阻率、薄膜均勻性、晶粒結構、電遷移、缺陷、模具結構和模具損壞。該單元的核心由光學顯微鏡、自動級和機器人處理程序組成。顯微鏡包含具有挑戰性的光學、長工作距離和延長工作距離的目標。自動化級能夠相對於晶片移動刀具，並對級坐標和晶片傾斜度進行控制。最後，機器人處理程序被用來拾取和放置晶片進入機器，也改變/加載光源。此外,KLA AIT XP還包括完整的圖像分析軟件,該軟件提供自動測試和測量分析,以及無標簽缺陷檢測、彩色濾鏡缺陷檢測、叠加測量和分析以及主動隱身功能。該軟件旨在通過利用硬件的速度和準確性來實現吞吐量和準確性的最大化。該工具還為用戶提供了一整套報告和數據可視化工具。這些工具允許比較測試結果以確定趨勢,並導出用於晶圓控制圖表、故障分析或其他應用程序的詳細信息。綜上所述，TENCOR AIT-XP是一種綜合性晶圓測試和計量資產，它通過一系列自動化測試、成像和分析工具提供了高度的準確性和質量保證。該模型用途廣泛，可用於研究模具結構、缺陷、薄膜均勻性、電阻率、摻雜濃度和模具損傷。因此，TENCOR AIT XP是保證半導體器件高質量生產的理想設備。