二手 KLA / TENCOR AIT XUV #9113703 待售

KLA/TENCOR AIT XUV是一種晶圓測試和計量設備。它提供了對先進集成電路和其他納米結構材料的微觀和納米級特性的獨特洞察。隨著越來越小的半導體技術的進步，KLA AIT XUV利用最新的光伏、電子和離子成像技術提供實時計量能力。它具有測量到納米級的器件結構的能力，並且由於其高通量的設計提供了快速的數據采集。TENCOR AIT-XUV具有微型粒子加速器，能夠進行直接晶圓離子成像、電子通道對比度成像和X射線檢查。該系統還包括用於高分辨率地形圖像的高分辨率帶電粒子顯微鏡。該設備是分析設備性能以及優化設備結構的理想設備。它還提供來自淺層和埋層高分辨率圖像的全面2D和3D信息。該機器提供先進的快速清潔和安全技術,使用戶能夠輕松識別和清潔產品表面的物質汙染物。此外，該工具還提供了快速吞吐量檢測的高吞吐量模式，以及數據完整性和提高準確性的低噪聲信號處理算法。AIT-XUV采用多路復用器設計，以增加樣品吞吐量並允許同時掃描多個芯片。樣品采用高度可配置的激光間接對準資產精心裝卸，確保各部分定位定位準確，該型號滿足半導體行業在圖像精度、分辨率、可重復性、吞吐量、靈敏度等方面的嚴格要求。此外,KLA/TENCOR AIT-XUV還提供帶有壓力傳感器、通量監視器和溫度控制器的溫度控制真空室。總體而言，KLA AIT-XUV是詳細檢查納米結構的可靠且通用的工具。它具有高精度、高通量的分析能力，是集成電路和先進材料微觀表征的理想選擇。