二手 KLA / TENCOR AIT XUV #9145311 待售

KLA / TENCOR AIT XUV
ID: 9145311
晶圓大小: 8"
優質的: 2003
Dark field wafer particle inspection system, 8" 2003 vintage.
KLA/TENCOR AIT XUV是一種晶圓測試和計量設備,用於廣泛的工業和半導體應用。它是一個專門的成像和計量系統,能夠精確測量和檢查各種材料和部件。KLA AIT XUV基於深紫外線(DUV)同步加速器源,利用水冷成像光學器件和先進軟件產生高分辨率、非接觸圖像和精確測量。該單元采用了多種專門的成像技術,如光刻、掃描電子顯微鏡、拉曼光譜。它還可以檢測性能和深度缺陷,同時提供精確的測量和表征表面特征。TENCOR AIT-XUV設計為可擴展以滿足不同的要求,允許用戶為其特定應用程序選擇最佳性能級別。它也具有高度模塊化的性質,因此用戶可以根據自己的精確需求定制和配置機器。該工具還為用戶提供了許多自動化和軟件選項,例如位置叠加和自動故障分析。KLA AIT-XUV包括用於檢查和測量關鍵尺寸、表面紋理和叠加精度等參數以及檢查納米級缺陷的專門工具。它還包括用於識別和分類材料特征的高級光學和分辨率。這些工具使用戶能夠精確分析半導體樣品的微觀和納米結構。KLA/TENCOR AIT-XUV憑借其多才多藝的設計和高性能,適合廣泛的工業和半導體應用。它能夠精確地對精細細節和亞微米特征進行成像和表征。它的設計也是為了提供可靠和持久的操作。它提供了極好的靈活性,使其能夠在許多不同的環境中使用,包括研究、生產和質量控制。
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