二手 KLA / TENCOR AIT XUV #9240637 待售

KLA® KLA/TENCOR AIT XUV™是為半導體行業設計的強大、高性能的晶圓測試和計量設備。它利用極紫外線（XUV）源技術，檢查測量晶圓的物理、機械和電氣特性，提供高分辨率成像、快速晶圓映射和精確的晶圓分析。KLA AIT XUV系統使用最先進的XUV光源,提供了前所未有的細節和分辨率,可達4納米,從而實現突破性的篩選和分析精度。該單元采用高功率脈沖XUV激光器，結合先進的成像光學和數字圖像分析平臺，提供卓越的成像能力和數據收集。該機器支持快速晶圓映射和分析，在一小時內對數百個晶圓提供晶圓輪廓和缺陷分析。功能豐富的工具提供自動化的非接觸式檢查,允許對晶圓曲面進行完整映射。TENCOR AIT-XUV平臺以其納米尺度的計量能力提供卓越的晶圓測量精度和重復性。這包括覆蓋精度、粒徑和表面粗糙度測量以及臨界特征測量等參數,所有這些參數都是在不接觸或不處理晶圓的情況下執行的。TENCOR AIT XUV資產還能夠進行復雜缺陷分析。它利用其先進的成像技術捕獲缺陷的詳細圖像，並快速確定其大小、形狀和位置。AIT XUV結合其通用的樣品處理模型,提供了一個具有卓越缺陷分析功能的通用平臺。沒有其他晶圓測試和計量設備能夠提供與KLA/TENCOR AIT-XUV相同水平的成像細節、分析速度和精度。這種堅固可靠的系統旨在提供最先進的性能和最大的正常運行時間,使其成為任何生產環境的理想選擇。KLA AIT-XUV單元具有靈活的模塊配置和多應用功能,為晶圓測試和計量提供了全面的解決方案。