二手 KLA / TENCOR AIT #149930 待售

KLA / TENCOR AIT
ID: 149930
優質的: 1997
Defect inspection system, 8" 1997 vintage.
KLA/TENCOR AIT(Automated Inspection Technology)是晶圓檢測解決方案的領先供應商KLA制造的晶圓測試和計量設備。它用於檢查半導體等微電子器件在生產過程中的質量,通常是在集成電路(IC)制造階段。該系統的工作原理是掃描電子模具(電路元件層),並用高分辨率顯微鏡測量結果。然後,它會自動將這些圖像與客戶提供的一組定義的規範進行比較,並使用軟件算法查明任何缺陷。KLA AIT使用了一系列集成的最先進的技術來精確測量晶圓並提供對制造結果的深入分析,幫助在過程和設計問題導致產品故障之前確定它們。該單元包括一個功能強大的多色顯微鏡,允許操作員檢查小到1微米的特征。它還具有多種先進的光學元件,包括光譜儀、CCD相機和各種光學濾光片。這些使顯微鏡能夠獲取有關正在測試的設備的更多信息,並為用戶提供高度敏感的計量數據。該機還可與自動光學檢查(AOI)平臺配合使用,該平臺設計用於通過對晶片進行快速光學掃描,以前所未有的效率檢測缺陷。AOI可以幫助減少測試時間,因為它可以通過一次掃描快速發現問題,而人類則必須手動檢查每個死亡。TENCOR AIT利用這些AOI和計量技術的結合,對設備缺陷進行了高效的檢查、測量和分類,為用戶提供了對設備狀況的全面分析。AIT無縫集成了數據收集和分析、物理檢查和模具級分析。它為用戶提供詳細的報告和分析,使他們能夠做出明智的決策,同時優化其制造過程的性能。其直觀的界面和靈活的配置選項使IC制造人員能夠實現一致的過程優化級別和設備質量保證。KLA/TENCOR AIT具有先進的特性和功能,是晶圓測試和計量環境的重要組成部分。它結合了強大的光學元件、靈活的控制軟件和用戶友好的界面,使其成為快速識別小缺陷和降低生產成本的理想工具。通過提供可靠的分析和反饋,KLA AIT有助於降低設備故障的風險,並確保產品的生產質量始終如一。
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